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基本信息：
| 申购主题： | 微纳结构紫外光刻设备 |
| 送货时间： | 合同签订后30天内送达 |
| 报价要求： | 国产含税 |
| 项目要求： | 免费上门安装（含材料费） |
| 发票类型： | 增值税专用发票 |
| 付款方式： | 预付30%，验收合格后付70% |
| 收货地址： | 江苏省/南京市/浦口区/**** |
| 供应商资质： | 中标后及时提供厂家授权书或厂家销售许可证或厂家售后服务承诺函 |
采购明细：
| 序号 | 设备名称 | 数量/单位 | 预算单价 | 品牌 | 型号 | 规格参数 | 质保及售后服务 | 附件 |
| 1 | 微纳结构紫外光刻设备 | 1.0（台） | （人民币） | 芯科智能 | LME5M | 1.紫外激光器波长<355nm。 2.设备功率:5W，脉宽＜10ns，355nm。 3. 加工范围：200*200mm以上。 4. 扫描速度：7000mm/s。 ★5.场镜：石英材质，远心，焦距 EFL160mm，工作距离 WD210mm，入射光斑直径10mm，扫描角度±27.8°，加工范围在200*200mm以上，焦点大小10~15um，镜头直径90mm，连接方式M85*1。 ★6. 振镜：高精度数字振镜，数字协议；入光孔径≥10mm；重复定位精度＜3um。 7.系统供电2.0KW/AC220V/50Hz温度、湿度5~35℃,30%≤RH≤85%。 8. 高精度XYZ电机，XYZ行程≥200mm，重复定位精度±5um，MV CCD相机+远心镜头。 ★9.系统正版：软件需要具备二次开发以及多点校正功能；软件支持一键自动校正，定位识别加工，图形拼接加工，3D加工模式。10.激光的线宽10~15um，刻蚀结构周期一致性要好，并提供样品效果。 11.提供激光原理课件：是。 | 自验收签字之日起，卖方对该设备质保2年。质保期内，设备因非买方人为原因造成的缺陷或损坏时，卖方应负责修理，卖方在接到通知后4小时内做出响应，设备恢复正常运行的时间不得超过48小时。按行业标准提供服务 |
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本公告地址：https://www.jdsbzb.com/view/12104/Ip0Ow6ABMqitpwL5sD2L.html
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