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MOCVD硫族前驱体低毒改造系统
| 申购单号 | 202610112867 |
| 申购单主题 | MOCVD硫族前驱体低毒改造系统 |
| 采购人 | 中山大学 |
| 使用单位 | 电子与信息工程学院（微电子学院） |
| 币种 | 人民币 |
采购明细
| 设备名称 | MOCVD硫族前驱体低毒改造系统 |
| 品牌 | 深圳纳设 |
| 型号 | SKY-ZS2026 |
| 数量 | 1 |
| 单位 | 套 |
| 规格 | 1. 包含3 组硫族有机源瓶，并配备3 组独立水浴用于控制硫族有机源挥发温度，0-60℃范围内可调； 2. 硫族有机源载气气路，气体管路需有保温保护层，放置前驱体在管壁冷凝沉积； 3.包含可编程逻辑控制单元（PLC）、与原MOCVD的集成控制软件、生长工艺配方软件； 4. 可以使用固态二乙基硒/二甲基硒，二乙基碲/二异丙基碲，二甲基硫/二乙基硫作为硫族生长源 5配置：管五*3；隔膜阀支架*15；GH支架*6；管一*3；1/4"公常闭气动隔膜阀（低压）*15；Ⅲ500钢瓶*2 恒温循环水浴槽*2；TCS进*6；质量流量控制器*6；1/4VCR垫片C1025*100；DeviceNet总线电缆*6；DeviceNet T型连接器*6；电子压力表（模拟量输出）*1；新增管道及VCR接头*1；气路面板A*1 |
| 备注 | 包括半导体设备，电真空器件生产设备，电子元件制造设备，环境例行试验设备，激光、印刷线路计算机生产设备，生产线及装配线，磁盘打印机生产设备等。 |
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本公告地址：https://www.jdsbzb.com/view/18342/OlOrLqEBni4p5U9X2oSa.html
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