多温区化学气相沉积系统

1. 1. 最高使用温度****°C，长期工作温度≤****°C，控温精度≤±1°C； 2. 加热元件为高纯硅碳棒； 3. 炉膛材质为优异保温性能的多晶氧化铝纤维； 4. 炉管为高纯刚玉管、内径** mm、长度****mm； 5. 加热温区：三温区总长度*** mm（***mm*3），每段温区独立控制； 6. 三温区测温元件为3个单铂铑高精度S型热电偶； 7. 控制系统：PLC+智能触摸屏，智能PID控温； 8. 升降温程序预览功能，烧结曲线、实时温度、控制比例、运行时间等系统状况实时在线； 9. 支持**段程序升温、恒温、降温，可存储**条烧结程序，随用随取； **. 配置WIFI物联网模块，支持远程实时查看、控制等功能；预约功能：可设置预约加热功能；外接USB接口，可对实验详细数据导出； **.安全功能：带超温报警、断偶保护、过流保护、断路保护等功能；带易燃易爆气体泄露报警功能； **. 有自动洗气功能，按预设程序自动完成确保实验气氛纯净与操作安全； **. 炉管密封法兰：一体式夹套水冷结构确保密封良好； **. 真空泵：极限真空度-0.1Mpa； **. 蠕动注射系统：转速范围:0.1-***rpm（可逆转）；速度分辨率:0.1rpm； **. 物料有加热预处理功能，出料口带长度***mm收集罐； **. 配置水冷机：功率***w，水箱容积6L； **. 气体控制混合功能：由5路质量流量计+PLC等组成，实现气体流量的精密测量和控制；配置混气罐，可以混合或单独通入炉管； **. 带尾气处理，标配专用安全防倾倒固定支架。