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| 申购单主题： | 高真空四源热蒸发镀膜仪 | 申购单位： | 柔****学院 点击查看 | ||||
| 申购备注： | |||||||
| 设备名称 | 品牌 | 型号 | 数量 | 报价类型 | 售后服务 | ||
| 高真空四源热蒸发镀膜仪 | 鹏程真空 | PCZF*** | 1 | 国内含税价/人民币 | 无 | ||
| 规格 | 生长室极限真空度≤2.0×**-5 Pa；抽速：**分钟可达到7×**-4 Pa 1、真空室腔体组件：1套 真空室腔体组件尺寸：单室 D 型前开门结构真空室，尺寸≤***×H***×***，腔体上法兰为样品台对接处，真空室设计采用超高真空设计，壁挂防污板，选用优质不锈钢材料制造，氩弧焊接，表面电解抛光钝化处理。 2、热阻蒸发舟及电源：3套 2.1、热蒸发水冷电极组3套； 2.2、热阻蒸发电源2台：蒸发温度可以室温～****°C（真空状态）最大输出功率****w（电压**V；电流***A）PLC实时控制,电流调整精度0.1A；电动切换满足3支蒸发舟蒸发要求；蒸发器根据蒸发材料配套（钨、钼舟共3个）；蒸发源之间设有防温度干扰装置 2.3、蒸发源挡板：3套 气动控制。 3、样品台（水冷）：1套 基片尺寸：6英寸基片1片；电机驱动磁力耦合密封驱动，转速0～**转/分可调；蒸发距离***mm 4、真空获得与真空测量：1套 4.1、复合分子泵： ***L/S分子泵 4.2、机械泵与电磁阀： 抽速9升∕秒 1套 4.3、CF***气动闸板阀：1套 4.4、分子泵与机械泵连接的金属软管：1套 4.5、全量程复合数显真空计：1套 4.6、DN**电磁截止阀（上海西玛特）1个 5、真空室照明装置：1套 6、膜厚监控仪：1套 6.1、监测膜厚显示范围：0~**μ****Å； 6.2、厚度分辨率：1Å； 6.3、速率显示分辨率：0~****.9 Å； 6.4、控制精度：1 Å； 6.5、监测时间显示范围：1分~**小时； 7、控制系统：1套 7.1、系统由工控机（**寸触摸屏）和PLC实现对整个系统的控制，有自动和手动控制两种功能，除取放样品手动实现外，其它操作过程全部在触摸屏上实现，提供真空系统、蒸发工艺设置、充放气系统等人机操作界面；在工控机上可通过菜单配方参数设置方式实现对程序工艺过程和设备参数的设置。 8、冷却水循环一体机：1台 9、无油静音气泵：1台； **、备件：1套 | ||||||
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